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石英坩埚中的羟基

坩埚中的羟基(-OH)是对坩埚强度影响的核心因素,由于羟基的存在,改变了SiO2的键合结构,致使坩埚的耐温性能大幅降低,例如坩埚中的羟基含量超过150ppm,1050摄氏度就会开始软化变形,无法正常使用。

坩埚中的羟基含量主要与坩埚制备所选取的工艺路线直接相关(其次与环境湿度以及原料选取等有关),我司的坩埚生产工艺不会在生产过程中引入羟基,产品羟基含?#31185;?#22343;值可达15ppm,坩埚可以满足长时间单晶拉制不变形。

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